用于半导体的静电耗散(ESD)涂层

日期:2024-04-01  来源:

静电耗散(ESD)涂层控制和中和静电,以防止损坏敏感电子元件。这些涂层形成了一条导电路径,可以安全地将静电荷引导远离关键设备和组件。

ESD 涂层将静电引入接地,并通过部分导电和部分阻止电流流动来防止产生火花。ESD 涂层有效地减慢了电荷转移速率,并防止累积电荷一次性跳至涂层表面。涂层的导电性通过不断消散电荷来抑制静电的积累。

当具有电压差的两个表面接触时,会发生突然放电。典型的 ESD 涂层可承受高达至少 250 V 的电压差。涂层的电阻率额定值越高,两个表面之间的电流流动就越受抑制。必须存在少量的导电性,这样电荷就不会积累。

 

高于 1200°F 的温度超过了目前可用的有机硅树脂和颜料技术的耐热性能。高于这些温度,制造商通常会选择不锈钢或陶瓷涂层选项。选择与应用相匹配的温度等级非常重要,因为每种涂层都是针对该范围专门配制的。

为适应更高电压差而设计的 ESD 涂层并不罕见。彻底测试以确保涂层电阻率对于应用的电压差是正确的。在某些临界电压差之上可能需要替代安全措施。即使是最坚固的涂层最终也会发生介电击穿,但发生这种情况的电压差因涂层而异,最好根据预期的涂层厚度通过实验确定。这是涉及特别高电压的应用中的一个问题。

 

静电耗散涂层在半导体制造过程中发挥什么作用?

静电耗散涂层通过防止静电积聚来保护半导体生产过程。它们通过以下方式保护半导体制造材料和设备:

ESD 保护:半导体元件对静电敏感。突然的静电放电可能会导致生产故障,从而导致立即或潜在的损坏。因此,静电耗散涂层有助于确保产品质量和可靠性。

污染控制:静电耗散涂层有助于最大限度地减少灰尘和颗粒物的吸引力,以保护半导体制造所需的清洁无污染的气氛。晶圆和设备必须清洁才能成功生产。

延长设备使用寿命:半导体生产中使用的高压设备依靠静电耗散涂层来防止杂散电荷造成的损坏。这些涂层可延长昂贵机械的使用寿命并降低维护成本。

 

半导体行业中哪些地方使用静电耗散涂料?

静电耗散涂层有助于半导体行业的以下应用:

使用晶圆: ESD 涂层为晶圆创建防静电工作表面、运输系统和存储解决方案。防静电表面和容器在生产和交付过程中保持晶圆的完整性。
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设备外壳:如前所述,高压部件和敏感电子设备需要防止突然放电。所引用的设备包括设备外壳,例如整个洁净室以及其中容纳的任何设备。应用于设备外壳的 ESD 涂层可防止杂散电荷造成的损坏,并确保半导体机械的可靠运行。防静电涂层还可以保护工人免受使用高压设备时的电击危险。静电会不断地传递 到地面,而不是通过附近的人传播。

半导体测试设备:测试精密的半导体部件会使它们面临静电放电损坏的风险。测试设备安装在带 ESD 涂层的机柜中,可在测试过程中防止静电放电。

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